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气相堆积炉
气相堆积炉
次要特点 :
气相堆积炉的用处: 本化学气相堆积石墨化一体炉可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合质料的化学气相堆积,如C/C复合质料、SiC复合质料等的CVD、CVI处置、石墨件的外表增碳处置、石墨烯的消费。 气相堆积炉的特点: 接纳多功效低温设计,可完成化学气相堆积和石墨
利用行业 :
  • 产品概况
  • 产品规格
  • 利用步调
  • 气相堆积炉原图2

    气相堆积炉的用处:
      本化学气相堆积石墨化一体炉可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合质料的化学气相堆积,如C/C复合质料、SiC复合质料等的CVD、CVI处置、石墨件的外表增碳处置、石墨烯的消费。
     气相堆积炉的特点:
      接纳多功效低温设计,可完成化学气相堆积和石墨化处置一次性完成。
      利用温度高达2600,并可永劫间波动牢靠运转。
      接纳热电偶和红外测温仪组合的测温主动转换体系,可完成全温度段的表现和控制。
      接纳IGBT为主功率器件的感到加热变频控制体系,使得设置装备摆设节能省电,谐波重量小,对内部设置装备摆设无搅扰。
      收支气体的准确流量表现和控制,包管了产品的波动性。
      接纳特别布局堆积室,密封结果好,抗净化才能强; 
      接纳多通道堆积气路,流场匀称,无堆积去世角,堆积结果好;
      特制的过滤体系,对炭堆积历程中发生的焦油、固体粉尘、无机气体等能举行无效处置;
     气相堆积炉的技能参数:


    参数

    型号

    HYSJL-3040

    HYSJL-4050

    HYSJL-5060

    HYSJL-6080

    HYSJL-8080

    事情区尺寸DXHmm)

    Ф300X

    400

    Ф400X

    500

    Ф500X

    600

    Ф600X

    800

    Ф800X

    800

    最高事情温度(

    1500

    2600

    1500

    2600

    1500

    2600

    1500

    2600

    1500

    2600

    温度匀称性(

    ±7.5

    ±7.5

    ±7.5

    ±7.5

    ±7.5

    事情电压(V)

    三相380

    额外功率(KW)

    40

    80

    60

    150

    80

    160

    90

    200

    160

    350

    事情氛围

    真空/氩气/氮气/氢气/炳烷/煤油自然气

    以上化学气相堆积炉技能参数可依据工艺参数举行调解,不作为验收根据,详细以技能方案和协议为准。可将化学气相堆积和低温石墨化两种功效离开,独自做成化学气相堆积炉和低温石墨化炉。

     



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