气相堆积炉的用处:
本化学气相堆积石墨化一体炉可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合质料的化学气相堆积,如C/C复合质料、SiC复合质料等的CVD、CVI处置、石墨件的外表增碳处置、石墨烯的消费。
气相堆积炉的特点:
接纳多功效低温设计,可完成化学气相堆积和石墨化处置一次性完成。
利用温度高达2600,并可永劫间波动牢靠运转。
接纳热电偶和红外测温仪组合的测温主动转换体系,可完成全温度段的表现和控制。
接纳IGBT为主功率器件的感到加热变频控制体系,使得设置装备摆设节能省电,谐波重量小,对内部设置装备摆设无搅扰。
收支气体的准确流量表现和控制,包管了产品的波动性。
接纳特别布局堆积室,密封结果好,抗净化才能强;
接纳多通道堆积气路,流场匀称,无堆积去世角,堆积结果好;
特制的过滤体系,对炭堆积历程中发生的焦油、固体粉尘、无机气体等能举行无效处置;
气相堆积炉的技能参数:
参数 型号 | HYSJL-3040 | HYSJL-4050 | HYSJL-5060 | HYSJL-6080 | HYSJL-8080 | ||||||||
事情区尺寸DXH(mm) | Ф300X 400 | Ф400X 500 | Ф500X 600 | Ф600X 800 | Ф800X 800 | ||||||||
最高事情温度(℃) | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | |||
温度匀称性(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ||||||||
事情电压(V) | 三相380 | ||||||||||||
额外功率(KW) | 40 | 80 | 60 | 150 | 80 | 160 | 90 | 200 | 160 | 350 | |||
事情氛围 | 真空/氩气/氮气/氢气/炳烷/煤油自然气 | ||||||||||||
以上化学气相堆积炉技能参数可依据工艺参数举行调解,不作为验收根据,详细以技能方案和协议为准。可将化学气相堆积和低温石墨化两种功效离开,独自做成化学气相堆积炉和低温石墨化炉。 |
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