气相堆积炉的用处：
本化学气相堆积石墨化一体炉可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合质料的化学气相堆积，如C/C复合质料、SiC复合质料等的CVD、CVI处置、石墨件的外表增碳处置、石墨烯的消费。
气相堆积炉的特点：
接纳多功效低温设计，可完成化学气相堆积和石墨化处置一次性完成。
利用温度高达2600，并可永劫间波动牢靠运转。
接纳热电偶和红外测温仪组合的测温主动转换体系，可完成全温度段的表现和控制。
接纳IGBT为主功率器件的感到加热变频控制体系，使得设置装备摆设节能省电，谐波重量小，对内部设置装备摆设无搅扰。
收支气体的准确流量表现和控制，包管了产品的波动性。
接纳特别布局堆积室，密封结果好，抗净化才能强；
接纳多通道堆积气路，流场匀称，无堆积去世角，堆积结果好；
特制的过滤体系，对炭堆积历程中发生的焦油、固体粉尘、无机气体等能举行无效处置；
气相堆积炉的技能参数：
参数 型号 | HYSJL-3040 | HYSJL-4050 | HYSJL-5060 | HYSJL-6080 | HYSJL-8080 | ||||||||
事情区尺寸DXH（mm) | Ф300X 400 | Ф400X 500 | Ф500X 600 | Ф600X 800 | Ф800X 800 | ||||||||
最高事情温度（℃） | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | |||
温度匀称性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ||||||||
事情电压(V) | 三相380 | ||||||||||||
额外功率（KW) | 40 | 80 | 60 | 150 | 80 | 160 | 90 | 200 | 160 | 350 | |||
事情氛围 | 真空/氩气/氮气/氢气/炳烷/煤油自然气 | ||||||||||||
以上化学气相堆积炉技能参数可依据工艺参数举行调解，不作为验收根据，详细以技能方案和协议为准。可将化学气相堆积和低温石墨化两种功效离开，独自做成化学气相堆积炉和低温石墨化炉。 | |||||||||||||
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