重结晶碳化硅烧结炉

重结晶碳化硅烧结炉的用处： 

用于重结晶碳化硅的低温烧结和低温热处置。
重结晶碳化硅烧结炉的特点：
1.低温可达2500℃，且可在2400℃低温下临时波动事情；
2.炉型有上装料，下装料、真空或氛围掩护等多种选择；
3.炉体双层水冷，密封性好，全密封布局，带真空抽气体系和氩气置换体系，掩护了炉体内气体的纯度；
4.IGBT节能省电，接纳立式真空感到加热方法，加热服从高，节能省电。
5.空载：升温速率高达600℃/h；
6.产品消费周期短，从入炉到出炉工夫只必要24h-36h(大炉工夫长）；
7.接纳特别的红外测温技能，PID分段步伐控制升温曲线。控温准确，偏差小。
8.宁静性高，接纳双层不锈钢炉壳，夹层通水冷却，炉外壳温度低于50℃。带有气压，水压和低温报警，同时备有超压气馁安装。
9.接纳人机工控触摸屏举行操控和温度记载，操纵利便又适用。
10.可依据工艺必要加装多级过滤体系，能无效的掩护真空机组。
11.一机多炉模块组合布局，可完成一机配多炉。
重结晶碳化硅烧结炉的设置装备摆设：
控制柜与炉体组合：一机一炉/一机二炉/一机四炉/一机六炉U
炉体布局：立式上开盖装料，立式下开盖装料
炉门：丝杠起落/液压起落/手动起落；手动锁紧
炉壳：内层不锈钢/全不锈钢
炉胆：石墨毡/复合硬毡
事情温度：###
事情氛围：高真空/低真空/氢气掩护/惰性气体掩护
加热器：钨/模压三高石墨/细颗粒石墨
真空泵、真空计和红外测温仪：入口/国产
中频电源：IGBT/KGPS
人机界面：触摸屏/工控机
PLC：欧姆龙/西门子
控温仪表：日本岛电/英国欧陆/国产宇电
记载仪：无纸记载仪/有纸记载仪；入口/国产
电器元件：正泰/施耐德/西门子