重结晶碳化硅烧结炉
重结晶碳化硅烧结炉的用处:
用于重结晶碳化硅的低温烧结和低温热处置。
重结晶碳化硅烧结炉的特点:
1.低温可达2500℃,且可在2400℃低温下临时波动事情;
2.炉型有上装料,下装料、真空或氛围掩护等多种选择;
3.炉体双层水冷,密封性好,全密封布局,带真空抽气体系和氩气置换体系,掩护了炉体内气体的纯度;
4.IGBT节能省电,接纳立式真空感到加热方法,加热服从高,节能省电。
5.空载:升温速率高达600℃/h;
6.产品消费周期短,从入炉到出炉工夫只必要24h-36h(大炉工夫长);
7.接纳特别的红外测温技能,PID分段步伐控制升温曲线。控温准确,偏差小。
8.宁静性高,接纳双层不锈钢炉壳,夹层通水冷却,炉外壳温度低于50℃。带有气压,水压和低温报警,同时备有超压气馁安装。
9.接纳人机工控触摸屏举行操控和温度记载,操纵利便又适用。
10.可依据工艺必要加装多级过滤体系,能无效的掩护真空机组。
11.一机多炉模块组合布局,可完成一机配多炉。
重结晶碳化硅烧结炉的设置装备摆设:
控制柜与炉体组合:一机一炉/一机二炉/一机四炉/一机六炉U
炉体布局:立式上开盖装料,立式下开盖装料
炉门:丝杠起落/液压起落/手动起落;手动锁紧
炉壳:内层不锈钢/全不锈钢
炉胆:石墨毡/复合硬毡
事情温度:###
事情氛围:高真空/低真空/氢气掩护/惰性气体掩护
加热器:钨/模压三高石墨/细颗粒石墨
真空泵、真空计和红外测温仪:入口/国产
中频电源:IGBT/KGPS
人机界面:触摸屏/工控机
PLC:欧姆龙/西门子
控温仪表:日本岛电/英国欧陆/国产宇电
记载仪:无纸记载仪/有纸记载仪;入口/国产
电器元件:正泰/施耐德/西门子